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    ATLEX-1000-I 高重频准分子激光器
    ATLEX-1000-I High frequency excimer laser
    商品货号:ECS002775
    商品品牌:ATL
    PDF 文档: DownloadATLEX-1000-I 高重频准分子激光器details Document
    详细介绍

    ATLEX 1000 I

    新一代紧凑型风冷式,高重复率的准分子激光器,专为低、中占空比应用设计。

    主要特点

    ª 超快电晕预电离技术

    ª HV-固态脉冲发生器

    ª 激光腔体<3L

    ª 全新技术的金属陶瓷腔

    ª 集成真空泵和卤素过滤器

    ª 全部风冷,温度控制

    ª 系统集成RS485,RS232,USBFOC接口

    ª 方便清洗的光学镜架

    ª 能量稳定模式

    ª 符合欧洲CE标准

    ª RoHS认证

    应用

    ª 微加工

    ª 激光烧蚀

    ª 医学(屈光手术)

    ª 光谱学

    ª 计量

    技术规格

    气体介质
    ArF
    KrF
    波长
    193
    248
    nm
    高压开关技术
    固态开关
    最大脉冲能量 1
    10
    15
    mJ
    最大平均功率
    8.0
     10
     W
    最大重复频率
    1000
    Hz
    脉冲宽度 2
    5 – 8
    ns
    光斑尺寸 2 (V x H)
    4 x 6
    mm
    光束发散角 2 (V x H)
    1 x 2
    mrad
    能量稳定性 (标准差)
    < 3
    %
    尺寸 (L x W x H) 
    540 x 470 x 370
    mm
    重量
    60
    kg
    冷却方式
    风冷
     
    电源要求
    230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
     

    所有规格都是典型的数据,如产品有改进,恕不另行通知更改。

    1 在最低重复频率情况下测得: 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

    2 典型值, FWHM。

     

    商品标记

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