





晶圆尺寸
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100mm(可放大)
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XY 平台
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行程
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100mm x 100mm(可放大)
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分辨率
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机械化,1.5μm的重复精度
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卡盘
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类型
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DC或RF
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真空度
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多区域真空
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平面度
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+/- 13 μm
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击穿电压
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至少500 V
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绝缘性
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至少1GΩ
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旋转调节
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机械化,360°
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旋转分辨率
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0.01°
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压板
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行程
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12.7 mm 或更大
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调节
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双粗糙和精密控制
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平面度
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150mm内<12.7μm
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硬度
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对于4.5 kg <50μm
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材料
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镀铬钢板
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显微镜
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类型
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高分辨率Seiwa光学显微镜
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行程
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100mm x 100mm(可放大)
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定位分辨率
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1.5μm
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物镜数
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4
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电子管透镜数
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3
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聚焦范围
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±25mm
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照明系统
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具有孔径光阑的明视场照明器
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激光
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类型
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脉冲调制的气冷式Nd:YAG
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波长
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1064nm, 532nm, and 355nm
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脉宽
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3-4ns
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脉冲能量(高/低)
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1064nm: 0.5mJ / 0.15mJ
532nm: 0.5mJ / 0.15mJ
355nm: 0.4mJ / 0.15mJ
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切割尺寸(单脉冲)
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最小值1064nm: 2μm x 2μm
532nm: 1μm x 1μm
355nm: 1μm x 1μm
最大值1064nm: 50μm x 50μm
532nm: 40μm x 40μm
355nm: 30μm x 30μm
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重复率
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单次激发,连续1Hz;对于20s的冷却周期50次激发可达5Hz
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衰减范围
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>100:1 for 532nm
>40:1 for 1064nm and 355nm using HI/LO ranges
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设备要求
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110VAC, 15A or 220VAC, 10A
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尺寸
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60cm x74cm x 92cm
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重量
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90Kg-230Kg
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数码相机:立体变焦式和奥林巴斯BXFM式显微镜都包含有一个相机的第三方观察口。我们提供兼容的像素从1百万到1千万的数码相机。包含图像和视频捕获以及尺寸测量的软件。