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LCS-4000系列具有激光切割系统的分析探针台
-Analytical Probe Station with Laser Cutting System: 商品货号：ECS002762; 商品品牌：MicroXact

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详细介绍

LCS-4000系列具有激光切割系统的分析探针台

---Analytical Probe Station with Laser Cutting System

特性：

系统集成了可移动材料和实现高精密切割的激光切割系统

为整理引线或移动设备缺陷而设计的同步DC和射频探针

当系统包含用于系统安全和容易操作的遮光附件时，全机械系统允许客户可独立地远程定位样品平台、压板和显微镜

用于样品平台和显微镜的包含100mm x 100mm移动范围的标准配置

多坐标双操纵杆控制器提供了所有移动部件的简单操作，并可定制多种附加功能

系统可升级到包含晶圆探针的半自动控制

位于平台两端的孤立的引线端口为方便连接到微定位器可定制为BNC, Triax或 DC管脚接法

规格（中文）：

晶圆尺寸		100mm(可放大)
XY 平台	行程	100mm x 100mm（可放大）
XY 平台	分辨率	机械化，1.5μm的重复精度
卡盘	类型	DC或RF
	真空度	多区域真空
	平面度	+/- 13 μm
	击穿电压	至少500 V
	绝缘性	至少1GΩ
	旋转调节	机械化，360°
	旋转分辨率	0.01°
压板	行程	12.7 mm 或更大
	调节	双粗糙和精密控制
	平面度	150mm内<12.7μm
	硬度	对于4.5 kg <50μm
	材料	镀铬钢板
显微镜	类型	高分辨率Seiwa光学显微镜
	行程	100mm x 100mm（可放大）
	定位分辨率	1.5μm
	物镜数	4
	电子管透镜数	3
	聚焦范围	±25mm
	照明系统	具有孔径光阑的明视场照明器
激光	类型	脉冲调制的气冷式Nd:YAG
	波长	1064nm, 532nm, and 355nm
	脉宽	3-4ns
	脉冲能量（高/低）	1064nm: 0.5mJ / 0.15mJ 532nm: 0.5mJ / 0.15mJ 355nm: 0.4mJ / 0.15mJ
	切割尺寸（单脉冲）	最小值1064nm: 2μm x 2μm 532nm: 1μm x 1μm 355nm: 1μm x 1μm 最大值1064nm: 50μm x 50μm 532nm: 40μm x 40μm 355nm: 30μm x 30μm
	重复率	单次激发，连续1Hz；对于20s的冷却周期50次激发可达5Hz
	衰减范围	>100:1 for 532nm >40:1 for 1064nm and 355nm using HI/LO ranges
设备要求		110VAC, 15A or 220VAC, 10A
	尺寸	60cm x74cm x 92cm
	重量	90Kg-230Kg

数码相机：立体变焦式和奥林巴斯BXFM式显微镜都包含有一个相机的第三方观察口。我们提供兼容的像素从1百万到1千万的数码相机。包含图像和视频捕获以及尺寸测量的软件。

热真空夹盘：TC-SYS-150系统包括一个具有USB接口的热控制器和兼容windows的控制软件以及一个具有6级泵浦和十升杜瓦的液氮控制系统。

隔震桌子：对于小形貌的高精密测试，隔震是十分必要的。我们提供一个全线隔震台，其可针对每个探针台和应用进行定制。

微定位器：对于特性达到5微米或更大的形貌，我们提供了非?？煽康拿孔哂?/span>0.025”（0.6mm）分辨率的3轴定位装置。这些定位器在XYZ方向具有0.3”（7.6mm）的可利用行程。对于小于5微米的形貌，我们提供了一个在XYZ方向具有0.5”（12.7mm）可利用行程的保险定位器。这些定位器具有每转从0.025”到0.01”的三种分辨率。所有都可配置磁铁（左）或真空基质（右）。

Seiwa精密显微镜：Seiwa显微镜提供了一个宽范围能力，这源于Seiwa无与伦比的工程技艺能力。不论你的系统需要何种应用特性的显微镜（如多波长激光兼容显微镜，或标准的变焦立体显微镜），我们都可集成任意这些显微镜到MicroXact探针台上。

照明器快门：用于光纤环灯和卤素光源的快门系统设计。系统集成了完全自动的应用软件，当使卤素光源远离开关的磨损和撕扯时，仍可容易全自动探测光敏设备。

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