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MPS系列三维磁探针台
3D magnetic probe station: 商品货号：ECS002761; 商品品牌：MicroXact

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详细介绍

MPS系列 三维磁探针台

--3D magnetic probe station

MPS系列系统是市场上第一台用于放置在完全可控的三维磁场中的样品的探针台。MicroXact的真正独一无二的专利申请设计使得在那些磁场要求精确的测试和测量的自旋电子学设备、纳米级电子学和其他材料和设备中的晶圆水平测试成为可能。

特性：

MPS系列磁探针台是市场上唯一一台提供使用磁场的任意三维方向的探针台，磁场使得这些探针台和用于自旋电子学研究和开发的最终方案。

MPS系列磁探针台是市场上的唯一一台提供在除了垂直磁场方向上的晶圆探测，使得这些系统适合在生产中的自旋电子学设备测试。

完全可定制的基于LABView的控制软件可易与最普遍的测试和测量设备结合使用

用于微米水平探针定位的有效的具有80TPI螺杆的高分辨率微位置

具有大范围的输出格式和可用设置的数据收集和/或分析

系统配有3个霍尔探头和资料解析以提高无与伦比的磁场稳定性和精度

规格：

		MPS-C-200	MPS-C-300	MPS-C-350
Wafer	尺寸	100mm	100mm	100mm
Wafer	定位分辨率	2.5 μm	2.5 μm	2.5 μm
磁场	磁场定向	Arbitrary 3D 2.5	Arbitrary 3D 2.5	Arbitrary 3D 2.5
	最大值	2KOe（0.2T）	3KOe（0.3T）	6KOe（0.6T）
	定向精度	+/- 0.1º	+/- 0.1º	+/- 0.1º
	10mm直径范围内的均匀性	+/- 2%	+/- 2%	+/- 2%
	稳定性	Better than 0.1%	Better than 0.1%	Better than 0.1%
	集成霍尔传感器的反馈回路	NO	YES	YES
显微镜		放大率从3.5X到180X的工业级数码变焦显微镜
系统	终端	BNC, Triax, or Banana plug
系统	重量	100kg to 120kg depending on options selected

配件：

照明器快门：用于光纤环灯卤素光源的快门系统设计，系统集成有用于全自动应用的软件，当?；ぢ彼毓庠丛独肽ニ鸷退撼犊厥?，使光敏设备的全自动测试容易。

数码相机：我们提供兼容瞄准镜座的像素从1百万到1千万的数码相机。包含图像和视频捕获尺寸测量软件。

热真空夹盘：TC-SYS-150系统包括一个具有USB接口的热控制器和兼容windows的控制软件和一个具有6级泵浦和十升杜瓦的液氮控制系统。

安装好的真空夹盘：对于小形貌的高精密测试，隔震是十分必要的。我们提供一个全线隔震台，其可针对每个探针台和应用进行用户自定义。

微定位器：对于特性达到5微米或更大的形貌，我们提供了非?？煽康木哂忻孔哂?/span>0.025”分辨率的3轴定位装置。这些定位器在XYZ方向具有0.3”的可利用行程。对于小于5微米的形貌，我们提供了一个在XYZ方向具有0.5”可利用行程的保险定位器。这些定位器具有每转动从0.025”到0.01”的三种分辨率。所有都具有配置磁铁（左）或真空闭锁基质（右）的选择。

Seiwa精密显微镜：Seiwa显微镜提供了一个宽范围能力，这源于Seiwa无与伦比的工程技艺能力。不论你的系统需要一个应用特性的显微镜（如多波长激光兼容显微镜，或标准的变焦立体显微镜），我们可以集成任何这些显微镜到MicroXact探针台上。

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