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    SPS-2600-PLUS-HP 最大精度自动晶圆探针台
    Maximum Precision Automated Wafer Probe Station
    商品货号:ECS002760
    商品品牌:MicroXact
    详细介绍
    SPS-2600-PLUS-HP 最大精度自动晶圆探针台
    SPS-2600-PLUS-HP Maximum Precision Automated Wafer Probe Station
     
    产品简介
    SPS-2600-PLUS-HPMicroXact公司在精密自动晶圆水平探针上的卓越成果。其以稳定的SPS-2600为基础,具有显著地高精密结构。晶圆载物台的高分辨率编码反馈系统和精密伺服控制系统的线型电机设计提供了在XYZ方向的亚微米定位精度。对于晶圆的精准对位,直接驱动的具有零回转间隙的θ定位系统提供了亚弧秒的分辨率。MicroXact公司的XactTest™软件可快速简单装配系统,装配一套用于测试新的晶圆设计的系统仅需几分钟时间。对于不同标准的测试设备,此软件还配有一套驱动程序库,提供了一套满足晶圆测试需要的一体化方案。MicroXact公司的专家团队可直接与客户联系,以保证此系统不仅能工作于标准测试,还能工作于极端特殊的测试应用中。SPS-2600-PLUS-HP在研究和生产环境中都具有杰出的性能。
     
    产品特性
    线性编码反馈提供了绝对的定位检验和控制
    可容纳10个探针座
    多功能操纵杆提供了模拟和数字控制的XYZ卡盘定位、返回原始位置函数以及数字控制的θ定位
    系统固定噪声<1Pa
    可选择的真空区域以补偿不同尺寸的晶圆和样品
    1年保修期,可延长
     
    参数指标
    100mm
    XY 平台
    行程
    100mm x 100mm
    分辨率
    0.1μm
    精度
    ±1.5µm
    重复度
    0.4μm
    压板
    行程
    25.4 mm
    分辨率
    0.24μm
    重复度
    1μm
    精度
    2μm
    平面度
    <12.7μm across 150mm
    硬度
    <50μm for 4.5kg
    θ向
    调节范围
    ±45°
    分辨率
    0.0001°
    卡盘
    平面度
    < 10 μm
    击穿电压
    至少500 V
    绝缘性
    至少1GΩ
    显微镜
    可用基本的变倍体视显微镜、高功率显微镜或精密相机变倍透镜系统
    系统
    引线端口
    BNC, Triax, or Banana plug
     
    商品标记

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