





晶圆尺寸
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200mm
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XY 平台
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行程
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200mm x 200mm
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分辨率
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机械化,重复度1.5μm
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压板
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升降行程
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12.7 mm 或更大
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调节方式
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粗调与精调结合,重复度优于1.5μm
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平面度
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<12.7μm across 150mm
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硬度
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<50μm for 4.5 kg
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卡盘
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真空度
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多区域真空
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平坦度
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+/- 13 μm
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击穿电压
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至少500 V
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绝缘性
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至少1GΩ
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调节能力
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360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
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显微镜
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工作距离达200mm、放大率介于3.5 X和180X之间的高质量变倍体视显微镜
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系统
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引线端口
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BNC, Triax, or Banana plug
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尺寸
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78cm x80cm x 58cm
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重量
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85Kg-95Kg
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设备要求
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110VAC, 15A or 220VAC, 10A
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