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    SPS-2800和2800-PLUS系列分析探针台
    SPS- 2800 and 2800-PLUS Series Analytical Probe Stations
    商品货号:ECS002750
    商品品牌:MicroXact
    详细介绍
    SPS-28002800-PLUS系列分析探针台
    SPS- 2800 and 2800-PLUS Series Analytical Probe Stations
     
    产品简介
    SPS-2800系列是MicroXact公司在SPS-2600基础上增大比例的一台探针台,支持200mm晶圆的手动、半自动或全自动探测。系统建立在耐用、平台多用的基础上,可配置为处理大范围的探测应用。而且热卡盘、变倍体视或数码显微镜以及RF附件等都具有广泛的选择。
     
    产品特性
    • 精密XY平台和压板电机控制
    • 可升级到全自动控制的晶圆探针台(SPS-2800-PLUS
    • 可容纳10个有磁性的或基于真空的探针座
    • 位于平台两端的引线端口可兼容BNC, Triax DC管脚接法
    • 显微镜的全范围XYZ定位并配备有标准吊杆
    • 提供尺寸为150mm200mm的真空吸附卡盘
    • 可选的射频器件包括用户定制的射频探针头、射频卡盘和屏蔽附件
     
    规格参数
    晶圆尺寸
    200mm
    XY 平台
    行程
    200mm x 200mm
    分辨率
    机械化,重复度1.5μm
    压板
    升降行程
    12.7 mm 或更大
    调节方式
    粗调与精调结合,重复度优于1.5μm
    平面度
    <12.7μm across 150mm
    硬度
    <50μm for 4.5 kg
    卡盘
    真空度
    多区域真空
    平坦度
    +/- 13 μm
    击穿电压
    至少500 V
    绝缘性
    至少1GΩ
    调节能力
    360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
    显微镜
    工作距离达200mm、放大率介于3.5 X180X之间的高质量变倍体视显微镜
    系统
    引线端口
    BNC, Triax, or Banana plug
    尺寸
    78cm x80cm x 58cm
    重量
    85Kg-95Kg
    设备要求
    110VAC, 15A or 220VAC, 10A
    商品标记

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