SPS-2800和2800-PLUS系列分析探针台_探针台_材料分析

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SPS-2800和2800-PLUS系列分析探针台
SPS- 2800 and 2800-PLUS Series Analytical Probe Stations: 商品货号：ECS002750; 商品品牌：MicroXact

详细介绍

SPS-2800和2800-PLUS系列分析探针台

SPS- 2800 and 2800-PLUS Series Analytical Probe Stations

产品简介：

SPS-2800系列是MicroXact公司在SPS-2600基础上增大比例的一台探针台，支持200mm晶圆的手动、半自动或全自动探测。系统建立在耐用、平台多用的基础上，可配置为处理大范围的探测应用。而且热卡盘、变倍体视或数码显微镜以及RF附件等都具有广泛的选择。

产品特性：

规格参数：

晶圆尺寸		200mm
XY 平台	行程	200mm x 200mm
XY 平台	分辨率	机械化，重复度1.5μm
压板	升降行程	12.7 mm 或更大
	调节方式	粗调与精调结合，重复度优于1.5μm
	平面度	<12.7μm across 150mm
	硬度	<50μm for 4.5 kg
卡盘	真空度	多区域真空
	平坦度	+/- 13 μm
	击穿电压	至少500 V
	绝缘性	至少1GΩ
	调节能力	360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
显微镜		工作距离达200mm、放大率介于3.5 X和180X之间的高质量变倍体视显微镜
系统	引线端口	BNC, Triax, or Banana plug
	尺寸	78cm x80cm x 58cm
	重量	85Kg-95Kg
设备要求		110VAC, 15A or 220VAC, 10A

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