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    SPS-2600和2600-PLUS系列分析探针台
    SPS- 2600 and 2600-PLUS Series Analytical Probe Stations
    商品货号:ECS002749
    商品品牌:MicroXact
    详细介绍
    SPS-26002600-PLUS系列分析探针台
    SPS- 2600 and 2600-PLUS Series Analytical Probe Stations
     
    产品简介
    SPS-2600系列是MicroXact公司第一台半自动探针台,设计灵活性且极易使用。系统性能优越,同时又比同类产品便宜。而且加热/冷却的晶圆卡盘、标准或数码显微镜、可编程平台索引等都具有广泛的选择,灵活性没有任何限制。
     
    产品特性
    精密XY平台和压板电机控制
    可升级到全自动控制的晶圆探针平台(SPS-2600-PLUS
    可容纳10个有磁性的或基于真空的探针座
    位于平台两端的引线端口可兼容BNC, Triax DC管脚接法
    显微镜的全范围XYZ定位并配备有标准吊杆
    提供尺寸为100mm、150mm200mm的真空吸附卡盘
    可选的射频器件包括用户定制的射频探针头、射频卡盘和屏蔽附件
     
    晶圆尺寸
    100mm
    XY 平台
    行程
    125mm x 125mm
    分辨率
    机械化,重复度1.5μm
    压板
    行程
    12.7 mm 或更大
    调节方式
    粗调与精调结合,重复度优于1.5μm
    平面度
    <12.7μm across 150mm
    硬度
    <50μm for 4.5 kg
    卡盘
    真空度
    多区域真空
    平坦度
    +/- 13 μm
    击穿电压
    至少500 V
    绝缘性
    至少1GΩ
    调节能力
    360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
    显微镜
    工作距离达200mm、放大率介于3.5 X180X之间的高质量变倍体视显微镜
    系统
    引线端口
    BNC, Triax, or Banana plug
    尺寸
    78cm x80cm x 58cm
    重量
    85Kg-95Kg
    设备要求
    110VAC, 15A or 220VAC, 10A
    商品标记

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