• <dd id="wikqe"></dd>
  • 当前位置:
    首页 > 材料分析 > 探针台 > SPS-2200 系列分析探针台
    会员登录
    商品分类
    浏览历史
    SPS-2200 系列分析探针台
    SPS- 2200 Series Analytical Probe Stations
    商品货号:ECS002748
    商品品牌:MicroXact
    详细介绍
    SPS-2200 系列分析探针台
    SPS- 2200 Series Analytical Probe Stations
    产品简介
    SPS-2200系列是MicroXact公司第一台可测试200mm尺寸晶圆的手动探针台,设计灵活且极易使用。系统性能优越,同时又较同类产品便宜。系统灵活性是没有限制的。
     
    产品特性
    • 装配有精密滚珠轴承的全手动平台,行程为225mm x 225mm
    • 具有粗糙和精密调整的完全手控压板,行程为12.5mm范围(可据客户需要放大)
    • 可容纳10个有磁性的或基于真空的定位器
    • 位于平台两端的引线端口可兼容BNC, Triax DC管脚接法以及标准射频连接
    • 显微镜的全范围XYZ定位并配备有标准吊杆,XY行程为50mm x 50mm(也可大范围选择)
    • 提供尺寸为150mm200mm的真空吸附卡盘。
    • 可选的射频器件包括用户定制的射频探针头、射频卡盘和屏蔽附件。
     
    参数指标

    晶圆尺寸
    200mm
    XY 平台
    行程
    225mm x 225mm
    分辨率
    5 μm
    压板
    升降行程
    12.7 mm 或更大
    调节方式
    粗调与精调结合,重复度优于1.5μm
    平面度
    <12.7μm across 150mm
    硬度
    <5μm for 4.5 kg
    卡盘
    真空度
    多区域真空
    平坦度
    +/- 13 μm
    击穿电压
    至少500 V
    绝缘性
    至少1GΩ
    调节能力
    360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
    显微镜
    工作距离达200mm、放大率介于3.5 X和180X之间的高质量变倍体视显微镜
    系统
    引线端口
    BNC, Triax, RF, or Banana plug
    尺寸
    78cm x 80cm x 58cm
    重量
    ~150 lbs.(68Kg)
    设备要求
    真空度
    <600 torr.(相当于0.79大气压)
    CDA
    60psi (注意:仅对于气动的XY平台)

    商品标记

    凤凰彩票计划 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>