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    SPS-2000 系列分析探针台
    SPS- 2000 Series Analytical Probe Stations
    商品货号:ECS002747
    商品品牌:MicroXact
    详细介绍
    SPS-2000 系列分析探针台
    SPS- 2000 Series Analytical Probe Stations
     
    产品简介
    SPS-2000系列是MicroXact公司第一台手动探针台,设计灵活性且极易使用。系统性能优越,同时又比同类产品便宜。而且系统的热晶圆卡盘、变倍体视以及数码显微镜和RF附件等都具有广泛的选择,灵活性没有任何限制。
     
    产品特性
    具有粗糙和精密调整的完全手动控制压板,行程为12.7mm(可据客户需要放大)
    可容纳10个磁性吸附的或真空吸附的探针座
    位于平台两端的引线端口可兼容BNC, Triax或 DC管脚接法以及标准射频连接
    显微镜的全范围XYZ定位并配备有标准吊杆,XY行程为50mm x 50mm(也可大范围选择)
    提供尺寸为150mm和200mm的真空吸附卡盘。
    可选的射频器件包括用户定制的射频探针头、射频卡盘和屏蔽附件。
     
    参数指标

    晶圆尺寸
    100mm
    XY 平台
    行程
    125mm x 125mm
    分辨率
    5 μm
    压板
    升降行程
    12.7 mm 或更大
    调节方式
    粗调与精调结合,重复度优于1.5μm
    平面度
    <12.7μm across 150mm
    硬度
    <5μm for 4.5 kg
    卡盘
    真空度
    多区域真空
    平坦度
    +/- 13 μm
    击穿电压
    至少500 V
    绝缘性
    至少1GΩ
    调节能力
    360° 粗糙调节, +/-6°精密调节
    工作距离达200mm、放大率介于3.5 X180X之间的高质量变倍体视显微镜
    系统
    引线端口
    BNC, Triax, RF, or Banana plug
    尺寸
    78cm x80cm x 58cm
    重量
    85Kg-95Kg
    设备要求
    真空度
    <600 torr.(相当于0.79大气压)
    CDA
    60psi (注意:仅对于气动的XY平台)

    商品标记

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